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光學顯微鏡

 

光學顯微鏡具備明暗場、微分幹涉、偏光等多種觀察功能。最大支持 300mm 晶圓及 17英寸液晶面板的檢查,含 4、6、8、12英寸多種轉盤,可適用不同尺寸的晶圓檢查。人機工程學設計全面提升,爲用戶提供更加舒適、靈活、快捷的操作體驗。可廣泛應用于半導體、PCB、LCD、手機産業鏈、光通訊、基礎電子、模具五金、醫療器械、汽車行業、計量行業等領域的檢測。
多檔分光比觀察頭設計
觀察筒,采用寬光束成像系統設計,支持26.5mm 世界領先的超寬視野觀察,帶給您全新的大視野體驗。兩檔式正像鉸鏈三目觀察筒,保證樣品的移動方向與您通過目鏡觀察到的方向一致,使操作更加得心應手。
三檔式鉸鏈三目觀察筒,在成像光線100% 用于雙目觀察或三目攝影的基礎上,增加一檔20% 用于雙目觀察,80% 用于顯微攝影,方便用戶同時對鏡下圖像與視頻圖像進行對比觀察;
 偏振系統
偏振系統包括起偏器和檢偏器,可做偏光檢測,在半導體和PCB 檢測中,可消除雜光,細節更清楚。檢偏器分爲固定式檢偏器和360 度旋轉式檢偏器。360°旋轉式檢偏器可在不移動標本的情況下,方便的觀察標本在不同偏振角度光線下呈現的狀態。可在偏振系統的基礎上加載舜宇全新研發微分幹涉器,建立諾曼爾斯基微分幹涉襯比系統。
諾曼爾斯基微分幹涉襯比系統
全新研發的U-DICR 微分幹涉組件,可以將明場觀察下無法檢測的細微高低差,轉化爲高對比度的明暗差並以立體浮雕形式表現出來,如LCD 導電粒子,精密磁盤表面劃痕等。
物鏡轉換器,多孔可選
多孔物鏡轉換器可以對同一個標本的觀測點進行連續的更加合理的低、中、高放大倍率觀察。全新的物鏡轉換器將光軸與轉動軸之間的夾角降低到15°,提高了對中精度和齊焦精度,且外觀更加緊湊。
 
 
 
技術參數
光學系統
無限遠色差校正光學系統
觀察頭
三目觀察筒 ,45°傾斜 , 鉸鏈組可 360°旋轉 , 固定式目鏡筒 , 瞳距調節範圍 50-75mm, 兩檔式分光比 :雙目 : 三目 =100 :0 或 0 :100
目鏡
高眼點大視野平場目鏡 PL10X/22mm, 視度可調,可帶測微尺
 
高眼點大視野平場目鏡 PL15X/16mm, 視度可調
物鏡
無限遠長工作距平場消色差金相物鏡 5X、10X、20X、50X、100X
 
無限遠長工作距平場明暗場消色差金相物鏡 5X、10X、20X、50X、100X
物鏡轉換器
內定位 5 孔明場轉換器(帶 DIC 插槽),內置倍率傳感器
 
內定位 5 孔明暗場轉換器(帶 DIC 插槽),內置倍率傳感器
機架
反射明暗場金相機架 , 采用低手位粗微調同軸 , 粗調行程 9mm, 焦面向上 6.5mm, 向下 2.5mm, 微調精度 0.002mm, 帶有防止下滑的松緊調節手輪
 
帶明暗場切換裝置 , 帶可變視場光闌、孔徑光闌,中心均可調;帶濾色片插槽與偏光裝置插槽 , 帶燈源亮度指示條,帶紅外感應和物鏡倍率顯示功能
照明系統
采用外置式寬電壓變壓器 , 輸入 100-240V, 輸出 15V13.4A, 亮度連續可調
載物台
三層機械移動平台,平台尺寸 :240(W)×250(L),移動範圍 50×50mm,雙向線軌傳動,右手低手位控制
攝影攝像附件
0.35X、0.5X、0.65X、1X,C 型接口,可調焦
其他
起偏鏡插板,固定式檢偏鏡插板,360°旋轉式檢偏鏡插板 ; DIC 微分幹涉組件 ;濾色片組 ;高精度測微尺

 

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