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激光幹涉儀

SJ6000激光幹涉儀

 

 

 

 

産品型號:SJ6000

測量方式:單頻

穩頻精度:±0.05ppm

測量精度:±0.5ppm0-40)℃

線性測量距離:(0-80m

測量分辨率:1nm

動態采集頻率:50KHz

工作溫度範圍:(0-40)℃

環境溫度範圍:(0-40)℃,環境濕度:0-95%

主要特點:應用範圍廣、測量精度高、操作方便

 

詳細信息

一、産品簡介

  激光幹涉儀是以光波爲載體,以光波波長爲單位的高精度、高靈敏度檢測設備,在高端制造領域應用廣泛。

  SJ6000激光幹涉儀采用美國進口高穩定氦氖激光器、激光雙縱模熱穩頻技術,實現快速(6分鍾)、高精度(0.05ppm)、抗幹擾能力強、長期穩定性好的激光輸出;采用高精度環境補償模塊、高精度激光幹涉信號處理系統、高性能計算機控制系統技術,結合線性鏡組能實現0.5ppm精度的線性測量;結合相應鏡組還能實現角度、直線度(平行度)、平面度、垂直度、回轉軸等參數的測量,並進行動態分析。

  SJ6000激光幹涉儀産品具有測量精度高、測量速度快、測量範圍大、分辨力高等優點。通過與不同的光學組件結合,可以實現對線性、角度、平面度、直線度(平行度)、垂直度、回轉軸等參數的精密測量,並能對設備進行速度、加速度、頻率-振幅、時間-位移等動態性能分析。

  在相關軟件的配合下,可自動生成誤差補償方案,爲設備誤差修正提供依據。

二、工作原理

  激光器發射單一頻率光束射入線性幹涉鏡,然後分成兩道光束,一道光束(參考光束)射向連接分光鏡的反射鏡,而第二道透射光束(測量光束)則通過分光鏡射入第二個反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,重新彙聚之後返回激光器,其中會有一個探測器監控兩道光束之間的幹涉(見圖)。若光程差沒有變化時,探測器會在相長性和相消性幹涉的兩極之間找到穩定的信號。

  若光程差有變化時,探測器會在每一次光程變化時,在相長性和相消性幹涉的兩極之間找到變化信號,這些變化會被計算並用來測量兩個光程之間的差異變化。


三、功能特點

  測量精度高:以激光幹涉技術爲核心,分辨力可達納米級;采用高精度環境補償模塊,解決了溫度、空氣壓力、相對濕度、材料溫度等環境因素對測量結果的影響;使用激光熱穩頻控制系統,保證激光長期穩頻精度;幹涉鏡與主機分離設計,避免幹涉鏡受熱變形,保證幹涉光路穩定。

  具有實現線性、角度、直線度、垂直度、回轉軸等幾何量的檢測功能。可以檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備運動導軌的線性定位精度、重複定位精度等;同時也能檢測運動導軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度;並可以校准機床的回轉軸。

  可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表,爲機床誤差修正的提供依據。

  具有動態測量(位移-時間曲線、速度-時間曲線、加速度-時間曲線) 及測量振幅和頻率分析的功能,可進行機床振動測量與分析,滾珠絲杆的動態特性分析,驅動系統的響應特性分析等。

  內置國內外通用的標准,含國標(GB) ISO(國際) BS(英制) 、美標、DIN(德標) JIS(日標)10份 。可依據各種不同的機床標准分析處理數據,並可打印相應的曲線圖和數據報告。

  可自動監測環境溫度、材料溫度、環境濕度和大氣壓力的參數。可選擇手動或自動進行環境補償。

  測量記錄采用集中式數據庫管理,可按被測件類型、生産單位、出廠編號、檢定員、送檢單位、設備編號、檢定日期和有效日期等查詢和管理檢定記錄;可將檢定數據輸出到WordExcel文檔。

   安裝方便:基本重量爲15kg,簡單便攜。 

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